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嘉合,带你揭秘ISO1级超净环境集成系统
信息类别:嘉合新闻  发布日期:[ 2014-11-25 ]  选择字号【

    2014年11月20日,国内首个ISO1级超净环境集成系统在南京正式落成,苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司参与了设计及建造,由国内知名院士教授及专家进行成果评审,并通过拥有CNAS和CMA资格认证的专业机构检测。该实验室属国内首创,达国际水平。

    现在,带您走进ISO1级超净环境集成系统,一起揭晓关于它的秘密。“什么是ISO1级超净环境集成系统”“相较于传统洁净室ISO1级超净环境集成系统有哪些技术提升”“ISO1级超净环境集成系统的问世将给我们带来哪些变革”带着诸多疑问,小编采访了实验室承建单位苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司副总经理,全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)委员石小雷。从石总的讲解中,我们了解到了许多关于ISO1级超净环境集成系统的知识。

“走进ISO1级超净环境集成系统”

     空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家及地区都有自己的标准。当前,晶圆片尺寸从12吋向18吋迈进、产品线宽向10nm发展,平板显示器基板尺寸从8.5代向10代线发展,生产环境核心部分的洁净度等级应达到ISO 2级别 / ISO 3.5级才能满足生产受控环境要求。鉴于目前国内高级别超净环境核心部分大都由国外单位设计和建造,嘉合公司特别组建了专业技术团队,不断进行技术创新,成功设计及建造了“ISO1级超净环境集成系统”。

     天加ISO1级超净环境集成系统”,净化面积为170平方米,其中核心区域为25平方;有别于传统净化实验室的地方在于ISO1级超净环境集成系统在采用传统经典空气净化系统MAU+DC+FFU的同时,首次在系统中增加控制空气分子污染功能。系统可进行噪声叠加、气流速度场、气流温度场、风机温升、中温水系统等功能测试。天加微电子平板显示器超洁净生产仿真系统是光电子、微电子和高世代TFT等生产环境和高端科研环境的“仿真”和“微缩”,可以有效地考核各产品在超净空气环境中的性能和能效。ISO1级超净环境集成系统是面向大尺寸芯片厂及大型平板显示器生产环境的科研平台。该仿真系统的洁净度远超过现有生产工艺ISO 5级或4级的要求。

 “战略发展看未来”

    在过去的几十年里,洁净室技术经历了诞生,成长,到大规模升级应用等阶段,随着新版GMP认证制度的推行及中国产业结构的升级,洁净室技术迎来了二次发展机遇。业内专家曾经指出,洁净室每外延1米,工程造价费用将增加20%左右,洁净室每提高一个净化级别,工程费用将增加30%左右,这意味着洁净室技术必须创新,朝高技术、低成本方向发展。

    国内首个ISO1级超净环境集成系统的问世真实再现电子厂房和TFT 8代线生产厂房环境,在线显示温湿度、洁净度以及化学污染的控制状态,此系统将为更高端、线宽更细小的微电子、光电子等生产工艺需求建立科研平台和生产仿真环境。真正实现了中国制造,填补了国家相关领域技术的空白,并达到了国际先进水平,对推动中国洁净室技术的科技进步具有重要的意义和广泛的应用前景,由此可向更专业的超洁净生产环境领域进一步迈进。

                   

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